리소그래피 또는 웨이퍼{0}}검사 도구 제작업체의 바닥에 걸어가면 이상한 점을 발견할 수 있습니다. 광학 장치, 스테이지, 소프트웨어에 막대한 엔지니어링 노력이 들어가고 - 그 모든 것 아래에 거대한 검은색 돌 블록이 놓여 있어 아무 것도 아닌 것처럼 보입니다. 이 블록은 일반적으로 기계의 나머지 부분이 해당 사양에 도달할 수 있는 이유입니다.
열은 아무도 보지 못하는 적이다
웨이퍼를 마이크론 미만의 정확도로 배치하는 스테이지는 극적인 사건으로 인해 실패하지 않습니다. 교정 보고서가 잘못되었을 때까지 아무도 눈치채지 못한 베이스 플레이트 전체의 0.5도 온도 변화로 인해 실패했습니다. 금속은 화강암보다 온도에 따라 훨씬 더 많이 팽창하고 수축하며, 기계의 한쪽 면이 모터나 창문 근처에 있으면 팽창 및 수축이 고르지 않습니다. 화강암의 낮은 열팽창 계수는 질량과 결합되어 주변 온도 변화에 느리게 반응하고 - 더 중요하게는 - 균일하게 반응한다는 것을 의미합니다. 이러한 예측 가능성 덕분에 기계 제작자는 움직이는 목표물을 쫓는 대신 소프트웨어의 열 드리프트를 실제로 보상할 수 있습니다.
실제 온도-관리 매장에 필요한 것
많은 구매자들이 놀라는 부분이 바로 여기에 있습니다. 생산화강암 베이스단순히 돌을 자르고 연마하는 것이 아니라 돌 - 마무리되고 측정되는 환경이 돌 자체만큼이나 중요합니다. 심각한 항온-온도, 항습-습도 워크숍에는 일반적으로 다음이 포함됩니다.
지게차나 근처 프레스에서 발생하는 바닥 진동이 측정 영역에 도달하는 것을 방지하기 위해 주변에 전용 방진 트렌치가 있는 경우가 많습니다(500mm x 2000mm 범위의 폭과 깊이는 일반적임).{3}}주변 건물과 격리된 기초입니다.
수톤의 석재 블랭크를 이동하는 오버헤드 크레인의 무게로 인해 휘어지는 것을 방지할 수 있을 만큼 충분히 두꺼운 - 일반적으로 1미터 이상 -인 철근 콘크리트 바닥재입니다.
소음이 없는 오버헤드 크레인. 표준 크레인의 모터 진동만으로도 나노미터{0}}규모의 평탄도 검사 중간-측정을 중단하기에 충분할 수 있기 때문입니다.
습기는 돌의 표면 거동과 이를 확인하는 데 사용되는 광학 및 전자 게이지의 정확성 모두에 영향을 미치기 때문에 엄격한 습도 제어가 가능합니다.
일부 제조업체는 한 단계 더 나아가 화강암 구조 부품이 공장을 떠나기 전에 조립하기 위해 본질적으로 반도체 제조 기술을 빌려 전용 클린룸-인접 조립 공간-을 구축합니다.
도구가 작아질수록 이것이 더 중요한 이유
웨이퍼 형상이 줄어들고 계측 공차가 엄격해짐에 따라 "충분히 가까운" 베이스에 대한 마진은 기본적으로 사라졌습니다. XY 테이블, 선형 모터 플랫폼 및 AOI(자동 광학 검사) 시스템은 모두 측정 체인에 자체 오류를 발생시키지 않는 기반에 의존합니다. 공장에서 출고될 당시 편평했지만 적절하게 제어된 환경에서 측정되거나 조립되지 않은 베이스는 생산 사용 후 6개월 동안 드리프트로 나타나는 숨겨진 응력이나 열 이력을 전달할 수 있습니다.
공급업체에 물어봐야 할 실용적인 질문
반도체 또는 정밀 광학 장비용 화강암 베이스를 지정하는 경우 직접 물어볼 가치가 있습니다. 이 부품이 온도- 및 진동- 제어 환경에서 측정 및 마감되었는지, 환경 로그를 보여줄 수 있습니까? 단순한 마케팅 주장-이 아닌 실제 데이터 -로 이에 답할 수 있는 공급업체는 부품이 기계에 장착된 후 어떻게 작동할지에 대해 실제적인 내용을 알려줍니다.
화강암은 일상적인 대화에서는 필수품 재료로 취급되지만, 반도체-인접 제조에서는 화강암이 만들어진 작업장도 돌 자체만큼 중요합니다.