초정밀 계측 분야에서는{0}}불굴의 물리 법칙이 모든 작업에 적용됩니다. "환경을 제어할 수 없으면 정밀도도 제어할 수 없습니다." 0.5μm 독일 Mahr 다이얼 표시기를 활용하든 영국 Renishaw 레이저 간섭계로 파동 주파수를 정렬하든, 사소한 바닥 진동이나 0.1도 온도 변동으로 인해 데이터가 즉시 무효화됩니다.
반도체 도구, 3차원 측정 기계 및 고급 광학 시스템의 완벽한 조립을 보장하기 위해 UNPARALLELED®는 산업 제조 부문에서 가장 정교한 클린룸 환경 중 하나를 설계했습니다.
1. 군용-급 기초: 낮은-주파수 구조 진동 분리
당사의 최첨단-최신--10,000m² 항온-및 항습-작업장 아래 숨겨진 토목 공학은 물리적 교란에 대한 궁극적인 방어 역할을 합니다.
≥1000mm 초-경질 콘크리트 하부-바닥: 전체 작업장 바닥은 두께가 1000mm 이상인 군용-등급 초-경질 콘크리트의 모놀리식 타설로 건설되었습니다. 이 거대하고 견고한 덩어리는 주변 산업 지역에서 발생하는 저주파 지진파를 효과적으로 감쇠 및 흡수합니다.
500mm × 2000mm 주변 격리 트렌치: 클린룸 주변에는 폭 500mm, 깊이 2000mm의 연속 진동{2}}격리 트렌치가 있으며 특수 완충재로 채워져 있습니다. 이는 인근 도로의 과도한 화물 운송으로 인한 외부 충격으로부터 조립 바닥을 격리하는 물리적 장벽 역할을 합니다.
속삭임-저소음 오버헤드 크레인: 온도 제어 구역 내에서 이동하는 모든 오버헤드 크레인은-진동이 없고 조용하도록 구조적으로 개조되었습니다. 시작, 이동 및 제동 시퀀스는 공장 현장에서 제로 조화 공진을 생성합니다.
2. 반도체 제조공장 복제: 먼지가 없는-조립 환경
중요한 조립을 위해화강암 공기 베어링, 다-축 선형 모터 스테이지 및 실리콘 웨이퍼 핸들링 구조를 갖춘 UNPARALLELED®는 반도체 제조 공장 환경을 반영하는 특수 먼지 없는 클린룸을 운영합니다.-
"정밀 사업은 너무 까다로워서는 안 됩니다."
이 인클로저 내부에서는 기류 속도, 미립자 수 및 열 변동(±0.2도 이내로 엄격하게 유지됨)이 지속적으로 모니터링됩니다. 이는 다음을 보장합니다.정밀 화강암고급 기술 세라믹(세라믹 부품) 또는 특수 금속 합금과 통합되어 모든 부품이 전체 열 평형 상태에 존재합니다. 이는 열팽창계수(CTE)-의 불일치로 인해 발생하는 아베 오류의 위험을 제거합니다. 이는 소규모 작업장에서는 재현할 수 없는 엔지니어링 수준입니다.