고급 반도체 패키징, 페로브스카이트 태양광 코팅, 자동 광학 검사(AOI)와 같은 분야가 미크론{0}}규모 제조의 경계를 뛰어넘으면서 이러한 기계가 조립되는 물리적 작업 공간 자체가 중요한 엔지니어링 변수가 되었습니다.
리소그래피 시스템이나 고속-선형 모터 스테이지가 작동할 때는 절대적으로 불활성인 환경이 필요합니다. 수백 미터 떨어진 곳에서 지나가는 배달 트럭이나 오버헤드 크레인의 낮은-윙윙거리는 소리도 지면 진동을 발생시켜 서브-미크론 정렬을 왜곡할 수 있습니다. UNPARALLELED®에서 우리는 세계 최고의 화강암 구성 요소, 에어 베어링 및 조립 침대를 구축하려면 이러한 환경 역학을 완전히 격리하는 제조 환경을 구축해야 한다는 것을 인식했습니다.
계측-등급 시설 분석
중요한 조립 및 테스트 단계에서 구조적 및 환경적 간섭을 제거하기 위해 당사의 특수 항온-항습 클린룸 작업장(10,000제곱미터 규모)이 엄격한 군용{4}}등급 건축 사양을 사용하여 건설되었습니다.
1. 1000mm 초-단단 콘크리트 기초
표준 공장 바닥의 두께는 일반적으로 150mm~300mm입니다. 당사의 정밀 조립 홀 바닥은 최소 두께 1000mm에 달하는 단단하고{3}강한 철근 콘크리트로 주조되었습니다. 이 거대한 질량은 저-통과 기계 필터 역할을 하여 고주파-지면 진동이 화강암 구조물이나 조립 지그에 도달하기 전에 약화시킵니다.
2. 주변 충격-흡수 트렌치(방진-진동 도랑)
주요 측정 구역과 주변 시설 이동을 분리하기 위해 당사 전문 작업장의 전체 경계는 전용 충격 흡수-트렌치로 격리되어 있습니다. 이 트렌치는 폭 500mm, 깊이 2000mm로 지구를 통과하는 전단파 및 표면 지진파의 전송선을 차단합니다.
3. Silent Crane을 통한 음향 및 동적 침묵
전통적인 오버헤드 공장 크레인은 구동 기어와 레일 접점을 통해 상당한 음향 및 기계적 소음을 발생시킵니다. 기후가 통제되는 구역 내의 모든 오버헤드 크레인은 고도로 맞춤화된 저소음-크레인입니다. 이는 머리 위 구조 진동과 음향 결합으로 인한 진동을 방지합니다.화강암 표면 플레이트민감한 접착제 결합 또는 에어 베어링 교정 중에는 아래를 참조하십시오.
UNPARALLELED® 정밀 환경의-단면도
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[Silent Crane] --->낮은 음향 잡음/부드러운 횡단 ───────────────────────────────────────────────────────────────
[화강암 조립식 침대]<-- Kept at Constant Temp/Humidity ───────────────────────────────────────────────────────────────────
[1000mm 울트라-하드 콘크리트 바닥] │ [500mm x 2000mm 쇼크 트렌치] │
▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓ │ 🚪 (지구 진동 분리) ===================================================================
차세대-세대 반도체 및 선형 모터 플랫폼 지원
이 세계적 수준의{0}}인프라는 우리 팀이 까다로운 시스템을 위한 복잡한 다축 어셈블리를 구축할 수 있는 직접적인 힘을 실어줍니다.-
페로브스카이트 슬롯-다이 코터: 균일한 필름 두께를 보장하기 위해 긴 이동 길이에 걸쳐 극도로-평탄한 궤적을 요구합니다.
산업용 CT 및 X-Ray 스캐닝 베이스: 절대적인 구조 안정성이 깨끗하고 흐릿하지 않은 체적 재구성을 보장합니다.
고속- XY 선형 모터 플랫폼: 3,100kg/m² 검은색 화강암의 높은 감쇠 기능이 구조적 공진으로 인해 미세한 서보-루프 튜닝이 중단되는 것을 방지합니다.
UNPARALLELED®는 생산 시설에서 열, 음향 및 진동 변수를 제어함으로써 최종 고객의 공장 현장에 배치될 때 제조 과정에서 기계 기반에 구축된 정밀도가 완전히 그대로 유지되도록 보장합니다.-