일정한 온도 작업장에서 환경 변동이{0}}화강암 정역학 가이드웨이의 정밀도에 어떤 영향을 미치나요?

1. 불균형한 국지적 온도차는 베이스의 고르지 않은 미세-변형과 불안정한 공기막 간극을 유발합니다.
기존 항온-작업장은 전체 평균 온도만 보장하므로 국지적인 온도 변동을 피하지 못합니다. 가이드웨이의 리니어 모터, 베이스에 직접 송풍되는 에어컨 배출구, 냉난방 장비의 밀착 배치에 의해 지속적으로 방출되는 열은 화강암 플랫폼에 수십 개의 국지적 온도차 영역을 형성합니다.
고밀도 흑색 화강암은 -매우 낮은 열팽창 계수를 자랑하지만 플랫폼 영역에 따라 고르지 않은 가열로 인해 차별화된 미세 팽창 및 수축이 발생하여 베이스 전체가 약간 오목{2}}볼록하게 변형됩니다. 공기정역학적 가이드웨이는 균일하고 일정한 미크론- 수준의 공기막을 사용하여 마찰 없는 움직임을 실현합니다. 베이스의 작은 변형은 가이드웨이의 각 섹션에서 서스펜션 간격을 직접적으로 변경합니다. 국부적인 공극이 너무 많으면 가이드웨이 표류가 발생하고, 간격이 부족하면 약간의 마찰과 방해가 발생하여 동시에 장비의 선형성과 이동 평행성이 허용 범위를 벗어나게 됩니다.
당사의 모든 완성된 베이스는 결정의 열팽창 응답 성능을 통일하기 위해 여러 차례의 항온 정적 노화 처리를 거칩니다.- 한편 작업장은 직접적인 송풍으로 인한 국지적 온도 차이를 제거하기 위해 전체-연면적 공기 공급 장치를 채택했습니다. 우리는 환경과 기판의 이중 차원으로 인한 온도차 변형의 영향을 완화합니다.
2. 주기적인 상호 온도 변동으로 인해 석재 응력 반동이 악화되고 지속적인 정밀도 저하가 발생합니다.
일부 항온-작업장의 온도 제어 시스템은 주기적인 시작-과 아침과 밤 사이의 약간의 온도 오프셋을 특징으로 하여 주기적인 온도 변동을 형성합니다. 화강암 원시 블록이 예비 자연 노화를 완료하더라도 내부에는 미량 균형 응력이 여전히 남아 있습니다. 지속적인 냉-열 사이클에 의해 자극을 받아 석재의 내부 응력 균형 상태가 반복적으로 깨지고 잔류 응력이 천천히 해제되며 점진적인 치수 오프셋이 발생합니다.
공기정역학 장비의 장기간 주기적인 작동 후에는- 가이드웨이의 영점 위치가 지속적으로 표류합니다. 장비를 다시 시작할 때마다 위치 결정 기준에 약간의 편차가 존재하며 반복 위치 결정 정확도가 점차 저하됩니다. 층상 가공 노화가 없는 일반 화강암 베이스는 온도 주기적 변동에 더 취약합니다. 기준 표면을 재연마하고 보정하기 위해 단 몇 달 내에 빈번한 가동 중단이 필요하므로 생산 라인 가동 시간이 대폭 단축됩니다.
UNPARALLELED는 거친 연삭, 준마무리 연삭 및 마무리 연삭 후에 각각 일정한{0}}온도 정적 공정을 추가하여 층별로 2차 절단 응력을 해제하고 베이스의 응력 상태를 사전에 안정화하며 주기적인 온도 변동으로 인한 응력 반등을 크게 줄이고 정밀도 저하를 늦춥니다.
3. 습도 변동은 석재 표면 상태를 변화시키고 기공 미세 기공의 균일한 공기 공급을 방해합니다.
대부분의 일정한-온도 작업장은 온도만 제어하고 습도 변동으로 인한 연쇄 효과는 무시합니다. 작업장 습도가 지나치게 높으면 공기 중의 수증기가 화강암 바닥과 기공 미세 기공 표면에 얇은 수막을 형성합니다. 습도가 너무 낮으면 정전기가 발생해 공기 중의 미세먼지를 흡착한다.
부착된 수증기는 테이블 상판의 미세한 평탄도를 변화시키는 동시에 공기압 베어링의 작은 공기 배출구를 막습니다. 각 위치의 공기 흐름이 다르고, 공기막의 지지력 분포가 고르지 않으며, 작동 중에 가이드웨이가 지속적으로 약간의 흔들림을 겪습니다. 건조한 환경에서 발생하는 정전기 먼지가 가이드웨이 기준면에 부착됩니다. 장기간 왕복 운동을 하면 미세한 스크래치가 발생하여 베이스의 기준 정밀도가 영구적으로 손상됩니다.- 또한 먼지는 공기정역학적 베어링 내부에 침입하여 정밀 공기정역학적 부품의 마모를 가속화하고 장비 유지 관리 비용을 증가시킵니다.
당사의 항온-작업장에는 작업장 습도 범위를 하루 24시간 안정적으로 제어하는 ​​폐쇄형-루프 항습 정화 시스템이 장착되어 있으며 먼지가 없는 공기 여과 장치와 함께 수증기와 먼지의 간섭을 차단하고 베이스의 안정적인 표면 상태를 유지하며 공기정역학 베어링에 균일하고 일정한 공기 공급을 보장합니다.
4. 온도 변동에 의해 생성된 열 구배로 인해 가이드웨이 모션의 타이밍 위치 편차가 발생합니다.
정밀 공기정역학 장비는 선형 인코더와 레이저 간섭계를 사용하여 나노{0}}수준의 타이밍 포지셔닝을 실현합니다. 세 부분(격자 감지 요소, 화강암 베이스 및 공기정역학 가이드웨이) 사이에는 열팽창 계수에 고유한 차이가 있습니다.
작업장 온도가 급격하게 변동할 경우 베이스, 리니어 엔코더 및 가이드웨이는 비동기식 미세 팽창 및 수축을 생성하여 내부 열 구배를 형성합니다. 장비 작동 중에 격자로 수집된 위치 신호와 가이드웨이의 실제 물리적 위치 사이에 타이밍 어긋남이 발생하여 처리 및 감지 지점이 연속적으로 오프셋됩니다. 특히 웨이퍼 정렬 및 마이크로-구조 레이저 에칭과 같은 고정밀 공정에서 미크론-수준의 타이밍 편차는 제품 폐기를 직접적으로 유발하고 생산 거부율을 높입니다.
석재의 열반응률을 균일화하기 위해 베이스 마무리 가공 후 장시간-시정수-온도 성형 처리를 실시합니다. 한편 작업장은 갑작스러운 온도 상승 및 하강을 방지하고 베이스와 감지 요소 간의 열 구배 차이를 줄이고 타이밍 위치 정확도를 안정화하기 위해 저-풍속-상수-온도 완충 공기 덕트를 채택합니다.
5. 동적 부하와 중첩된 장기-환경 변동으로 인해 스톤 마이크로-크리프가 가속화되고 장비의 고정밀-사용 수명이 단축됩니다.
항공정역학적 가이드웨이 플랫폼은 광학 렌즈, 캐리어 스테이지, 선형 모터 및 기타 구성 요소를 장기간 운반하면서 지속적인 왕복 동적 하중을 견뎌야 합니다. 장기간 불규칙한 온도 및 습도 환경 변동이 동반되면 두 가지 부정적인 효과가 중첩됩니다. 온도 변동은 석재의 내부 결정 구조를 지속적으로 방해하고 동적 하중은 지속적으로 결정을 압박합니다. 이중 효과로 인해 화강암의 마이크로{2}}크리프 과정이 가속화됩니다.
느리고 되돌릴 수 없는 가라앉음과 변형이 베이스에 나타나 공기정역학적 가이드웨이의 기준을 영구적으로 상쇄합니다. 재연삭 및 교정 후에도 단기간 내에 정밀도가 다시 저하됩니다. 장비는 더 이상 나노-레벨의 고정밀 생산 표준을 충족할 수 없으므로-장비의 고정밀 사용 수명이 크게 단축되고 장비 교체에 대한 기업의 투자가 증가합니다.
UNPARALLELED의 전체-공정 복합 노화 공정은 석재 내부 결정 장력의 균형을 미리 맞출 수 있습니다. 외부 진동을 차단하기 위한 충격 방지 트렌치와 환경 조건을 안정화하기 위한 항온 및 항습 작업장과 결합하여 환경 변동 및 동적 부하로 인한 중첩된 손상을 줄이고 기지의 고정밀 서비스 기간을 연장합니다-.
결론
많은 제조 기업에서는 항온 작업장이-국지적 온도 차이, 주기적인 온도 및 습도 변동, 급격한 온도 변화와 같은 미묘한 환경 교란으로 인해 발생하는 체인 정밀도 결함을 무시하고 화강암 공기정역학 가이드웨이의 정밀도에 대한 온도 간섭을 완전히 격리할 수 있다고 잘못 믿고 있습니다. 열팽창이 낮은 고밀도 흑색 화강암 기판을 선택하더라도 무질서한 작업장 환경 변동으로 인해 기본 미세 변형, 응력 반동, 불안정한 공기막, 타이밍 위치 편차 및 크리프 가속 등 여러 문제가 계속 발생하여 반도체 및 정밀 광학 장비의 수율과 장기 안정성에 직접적인 영향을 미칩니다.{4}}
UNPARALLELED는 단일 고성능-화강암 기판 제조에만 국한되지 않습니다. 대신에 우리는 다층 기판 노화 성형 + 충격 방지, 먼지가 없는-, 항온-온도 및 항습-작업장 + 전체-영역 소프트 공기 공급 온도 제어 시스템 등 통합된 환경 정밀 보호 시스템을 구축합니다. 우리는 원자재, 가공 공정, 생산 환경이라는 세 가지 차원에서 환경 변동의 부정적인 영향을 완화합니다. 앞으로 우리는 작업장 환경의 폐쇄 루프 제어 표준을 지속적으로 최적화하고, 화강암의 장기적인 안정화를 위해 노후화 프로세스를 반복하며, 환경 변동에 저항하고 글로벌 고급 정밀 항공정학 장비를 위해 장기간 안정적인 나노{13}수준 정밀도를 유지할 수 있는 화강암 참조 플랫폼 솔루션을 만들 것입니다.