초정밀 제조에서-기존의 기계적 접촉은 정확성의 적입니다. 세라믹 에어 베어링은 고압의-압력 미세-가스층을 활용하여 완전히 마찰이 없고 마모가 없는 동작을 달성함으로써 이 문제를 해결합니다. 결합하여초-고순도-세라믹 소재나노미터{0}}수준의 가공을 통해 이러한 구성 요소는 반도체 장비 및 고급 계측에 필요한 최고의 속도, 안정성 및 청결성을 제공합니다.
기계적 접촉의 한계: Go Air를 사용해야 하는 이유
정밀 장비가 발전함에 따라 기존 롤링 요소 가이드의 한계가 더욱 뚜렷해졌습니다.- 기계적 접촉은 마찰, 열 및 미세한 마모 입자를 생성합니다. 시간이 지남에 따라 이는 저속에서 무서운 "스틱{3}}슬립" 효과, 열 왜곡 및 위치 정확도의 점진적인 손실로 이어집니다.
반도체 리소그래피 및 웨이퍼 검사와 같은 산업에서는 단 1나노미터의 편차나 길잃은 마모 입자로 인해 수백만 달러 규모의 생산 배치가 망가질 수 있습니다. 해결책은? 비접촉 동작.- 세라믹 에어 베어링은 물리적 접촉을 안정적인 3~20미크론 공기막으로 대체하여 근본적으로 정밀도를 재정의하는 마찰 없는 움직임을 제공합니다.
소재의 장점: 왜 UNPARALLELED® 세라믹인가요?
모든 에어베어링이 동일하게 제작되는 것은 아닙니다. 기판 재료에 따라 최고의 성능이 결정됩니다. 금속과 표준 화강암도 나름의 위치를 차지하고 있지만 고급 응용 분야에는 알루미나(Al2O₃), 탄화규소(SiC), 질화규소(Si₃N₄)와 같은 고급 산업용 세라믹이 필요합니다.
UNPARALLELED 그룹에서는 다음과 같은 고급 세라믹의 고유한 물리적 특성을 활용합니다.
매우-높은 비강성: 세라믹은 강철과 화강암보다 훨씬 가볍지만 뛰어난 강성을 제공합니다. 이를 통해 구조적 굴곡 없이 더 높은 가속 및 감속이 가능합니다.
열 안정성: 고급 세라믹은 믿을 수 없을 정도로 낮은 열팽창 계수를 자랑합니다. 고속- 연속 연중무휴 작업 중에도 치수 안정성이 저하되지 않습니다.
절대적인 청결도: 세라믹은 녹에 전혀 영향을 받지 않으며 미립자 물질을 전혀 생성하지 않으므로 ISO-인증 클린룸 및 반도체 환경에서 유일하게 실행 가능한 선택입니다.
정밀도 임계값: 1μm 이상
에어베어링은 표면 평탄도와 평행도만큼 우수합니다. 세라믹 표면에 미세한 결함이 있는 경우 공기막이 요동하여 진동이 발생합니다.
UNPARALLELED의 핵심역량이 빛을 발하는 곳입니다. 우리는 단순히 세라믹 원료만 공급하는 것이 아닙니다. 우리는 그것을 완벽하게 가공합니다. 고급 다이아몬드 연삭 및 연마 공정을 활용하여 1μm 이상의 초-정밀도를 달성하고 표면 마감은 광학 품질에 도달합니다. 수십년의 경험을 바탕으로 한 우리의 장인들은 모든 세라믹 슬라이더와 레일이 엄격한 국제 표준(DIN, ASME, JIS)을 충족하는지 확인합니다.
또한 당사의 다공성 세라믹 기술은 균일한 공기 분포를 보장하여 탁월한 정적 및 동적 강성을 제공합니다. 이는 고속(최대 5m/s) 및 높은{3}}가속도(4G) 조건에서도 플랫폼이 완벽하게 안정적인 상태를 유지하도록 보장합니다.
복잡한 애플리케이션을 위한 다양한 사용자 정의
정밀 장비는 기성 부품을-사용하는- 경우가 거의 없습니다. 세라믹 직선형-모서리 자, 4개-평면 정사각형 마스터, XY 스테이지 또는 금속 인서트가 통합된 맞춤형 다공성 세라믹 플로트가 필요하다면 우리는 제공합니다. 우리는 DWG, DXF, STEP 또는 손 스케치를 통한 맞춤형 디자인을 허용하며 엄격한 지적 재산권 기밀이 보장됩니다.
모션 제어 시스템 향상
응용 분야에서 마찰 제로, 마모 제로, 나노미터{0}}수준의 반복성이 요구되는 경우 표준 소재는 경쟁할 수 없습니다. 고급 세라믹 소재와 세계-수준의 정밀 가공을 결합한 제조업체와 협력하세요.
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