기계적 접촉은 나노미터 정밀도의 적입니다. 정밀 화강암 또는 세라믹 가이드의 에어 베어링은 마찰, 마모 및 진동을 제거합니다. 일반적인 플라이-높이가 5-10μm이고 마찰 움직임이 없는 이 시스템은 고급 반도체 리소그래피 및 고급 계측에 필요한 10nm 분해능을 구현합니다.
1. 마찰 제거: 무한한 기계적 수명을 향한 길
움직이는 부품 사이에 물리적 접촉이 없기 때문에 에어베어링 시스템은 마모가 발생하지 않습니다. 이를 통해 스캐닝 단계의 초기 보정이 수년간 유효하게 유지됩니다. 웨이퍼 스캐닝과 같은 높은-듀티 사이클 환경에서 이 "무한 수명"은 유지 관리 비용을 줄이고 클린룸 규정 준수에 필수적인 윤활의 필요성을 제거합니다.
2. 장거리 이동 범위에서 서브-마이크론 직진도 달성
When an air bearing glides over a DIN 876 Grade 000 granite guide, it averages out the microscopic surface irregularities. This "averaging effect" results in motion straightness that is often superior to the physical guide itself. For long-travel applications (>1000mm), 이는 각도 오류(피치, 롤, 요)를 최소화하면서 일관된 모션 프로파일을 허용합니다.
3. 진동 차단 및 움직임의 부드러움
기계식 베어링(볼 또는 롤러)은 민감한 측정을 방해하는 "재순환 소음"을 생성합니다. 에어베어링은 압축된 공기의 얇은 막에서 작동하여 자연스러운 진동 감쇠 효과를 제공합니다. 그 결과 속도 리플이 무시할 정도로 매우 부드러운 움직임이 발생합니다. 이는 고해상도 이미징 및 나노미터{4}}규모 표면 프로파일링에 매우 중요합니다.
4. 화강암과 세라믹이 필수 에어베어링 기판인 이유는 무엇입니까?
에어베어링의 성능은 전적으로 베어링이 떠 있는 표면의 품질에 따라 달라집니다. Jinan Black Granite 및 Technical Ceramics는 일정한 5μm 공극을 유지하는 데 필요한 극도의 평탄도와 열 안정성을 제공합니다. 기판의 열 변형으로 인해 베어링이 파손될 수 있으므로 재료 선택이 가장 중요한 엔지니어링 결정이 됩니다.
5. 통합: 에어베어링과 리니어 모터의 결합
고속-나노 규모 위치 지정을 달성하기 위해 우리는 Ironless 선형 모터를 에어 베어링 스테이지와 통합합니다. 이 조합은 "코깅"과 자기 인력을 제거하여 가능한 가장 깨끗한 모션을 제공합니다. UNPARALLELED에서는 화강암 베이스, 에어 베어링 퍽 및 모터 장착 인터페이스를 포함한 완전한 기계 조립품을 제공합니다.
에어베어링과 기계식 선형 가이드
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특징 |
에어베어링 |
기계식 롤러 가이드 |
|---|---|---|
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마찰 |
제로(정적 및 동적) |
중간(스틱-미끄러짐 효과) |
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마모 및 유지관리 |
없음 |
높음(윤활 필요) |
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해결 |
나노미터 수준 |
미크론 수준 |
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진동 |
매우 낮음 |
높음(재순환 소음) |
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클린룸 등급 |
1급(완벽) |
클래스 100/1000(밀봉 필요) |
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비용 |
프리미엄 |
기준 |
FAQ: 에어베어링 기술
Q1: 공기 공급이 중단되면 어떻게 됩니까?
A: 우리는 손상을 방지하기 위해 비상 착륙 표면이나 '하드-코팅' 세라믹 인터페이스를 사용합니다. 또한 공기 압력이 임계 임계값 아래로 떨어지면 비상 정지를 실행하고 기계식 브레이크를 작동시키는 압력 센서를 권장합니다.
Q2: 이 베어링에는 어떤 공기 품질이 필요합니까?
답변: 공기는 여과되고 건조되어야 하며 기름-이 없어야 합니다. 우리는 일반적으로 ISO 8573-1 클래스 1.4.1 공기 품질을 지정하여 입자나 습기가 공기 베어링 퍽의 마이크론 미만 구멍을 막지 않도록 합니다.
Q3: 에어베어링은 진공에서도 작동할 수 있나요?
A: 그렇습니다. 하지만 공기가 진공 챔버로 누출되는 것을 방지하려면 진공-예압 설계 또는 특수 차동 펌핑 씰이 필요합니다. 이는 고급 EUV 반도체 도구에서 일반적입니다.
Q4: 에어베어링은 무거운 하중을 어떻게 처리합니까?
A: 베어링 퍽의 표면적과 공기압(일반적으로 0.5-0.6 MPa)을 증가시킴으로써 동일한 무마찰 성능으로 몇 그램에서 수 톤에 이르는 하중을 지원할 수 있습니다.
Q5: 에어베어링 스테이지 설치가 어려운가요?
A: 정확한 정렬과 매우 평평한 기준 표면이 필요합니다. 이것이 바로 UNPARALLELED가 일반적으로 "즉시-즉시-성능을 보장하기 위해 정밀 화강암 베이스에 미리 장착되고 테스트된 에어 베어링을 제공하는 이유입니다.-
Q6: CMM 제조업체의 주요 이점은 무엇입니까?
A: 속도와 정확성. 에어 베어링을 사용하면 CMM 프로브가 진동을 유발하지 않고 훨씬 빠르게 움직일 수 있으므로 현대 항공우주 엔진에서 볼 수 있는 복잡한 형상에 대한 검사 주기가 빨라지고 정밀도가 높아집니다.