정밀 공기{0}}부유 플랫폼은 비접촉 공기막을 통해 마찰 없는 움직임을 달성하며 광학 검사, 반도체 웨이퍼 처리, 고정밀-리소그래피, 미크론-레벨 치수 교정과 같은 최첨단 분야에 널리 적용됩니다. 공기-플로팅 시스템의 이동 직진도, 평탄도 및 반복 위치 정확도의 장기 안정성은-에어 베어링 및 드라이브 모듈과 같은 움직이는 구성요소뿐만 아니라 근본적으로 플랫폼 베이스 기판의 물리적 특성에 따라 달라집니다. 많은 장비 제조업체는 주철, 알루미늄 합금 또는 광물 주조로 공기-부유 베이스를 구축하려고 시도하지만 열 변형, 진동 공명 및 장기적인 기준 드리프트가 자주 발생합니다.- 이러한 이유로 고밀도 화강암은 고급-정밀 공기-부유 플랫폼에서 선호되는 기판으로 인식되고 있습니다.
초정밀-공기-부동 모션 시스템에서 기판은 단순한 하중-지탱 구조 그 이상입니다. 이는 마이크론 및 나노미터- 수준의 정밀도를 유지하기 위한 핵심 벤치마크 역할을 합니다. 미크론-수준의 균일한 공기막으로 작동하는 공기-부유 플랫폼은 기판 변형 제어, 진동 저항 및 구조적 안정성에 대해 매우 엄격한 요구 사항을 적용합니다. 약간의 재료 변형, 미세-진동 또는 기준 편차는 공기막 균형을 직접 깨뜨려 위치 지정 오류, 작동 지터 및 반복 정확도 실패를 유발합니다. 금속 및 일반 석재 기판은 고급 공기 부유식 장비의 엄격한 작동 조건을 충족할 수 없습니다.- 이에 비해 특별히 선택 및 가공된 고밀도 화강암은 초정밀 작업 요구 사항에 완벽하게 부합하며 고급 산업 장비의 필수 핵심 소재가 되었습니다.{15}}
연속 작동 중에는 모터에서 발생하는 열과 주변 온도 및 습도 변동이 플랫폼 기판으로 전달됩니다. 알루미늄 합금과 주철은 열팽창 계수가 높고 작은 온도 변화에도 미묘하게 변형되어 공기막 균일성을 방해하고 모션 지터를 유발하고 위치 정확도가 저하됩니다. 당사가 자체 개발한-UNPARALLELED® 고밀도-밀도 흑색 화강암은 열 팽창 계수가 극히 낮은 콤팩트하고 균일한 내부 결정 구조를 자랑하며 열로 인한 변형을 최소화합니다.- 뛰어난 내부 감쇠 성능으로 장비 작동 및 외부 환경으로 인한 진동을 신속하게 흡수하여 공진 간섭을 효과적으로 방지합니다.
일부 공급업체는 일반 대리석을 공중-부유식 플랫폼의 원료로 사용합니다. 느슨한 질감과 자연적인 균열로 인해 일반 대리석은 장기간의 압력과 반복적인 하중으로 인해 내부 응력이 점차 방출되어 시간이 지남에 따라 플랫폼 평탄도가 저하되고 공기{3}}부유 간격이 불균형해집니다. 공기-부유 플랫폼에 채택된 모든 화강암 재료는 내부 응력을 완전히 방출하기 위해 장기간의 자연 및 인공 노화 처리를 거칩니다. 안정적인 밀도와 크리프 변형에 대한 저항성을 갖춘 이 소재는 플랫폼의 원래 기하학적 정확도를 영구적으로 유지하고 이후 교정 및 유지 관리 빈도를 크게 줄여줍니다.
공기-부유 플랫폼 처리에는 고도로 전문화된 장인정신이 필요하며 초-평탄도는 물론 미세한 공기 구멍, 공기 공급 회로, 장착 나사 구멍 및 밀봉 홈의 정밀 가공이 필요합니다. 부드러운 일반 석재는 드릴링 및 홈 가공 중에 가장자리가 부서지고 갈라지기 쉽습니다. 고밀도-화강암은 균형 잡힌 경도, 구조적 강성 및 가공성을 제공하여 복잡하고 불규칙한 구조를 안정적으로 마무리할 수 있습니다. 200,000㎡의 생산 기지와 클래스 10,000 항온-항온, 항습-먼지{12}}작업장과 전문적인 방진 인프라를 갖춘{13}}지원을 받아 접합 오류 없이 대규모{14}}공중 부유 플랫폼의 통합 연삭을 완성합니다. 모든 절차는 DIN, ASME 및 GB를 포함한 글로벌 표준을 준수하여 나노미터-수준의 평탄도를 달성하여 고급-공기-부유 시스템의 엄격한 공극 일관성 요구 사항을 충족합니다.
배송 전 정밀검사는 필수입니다. 독일, 스위스, 일본에서 수입한 고정밀 측정 기기를 모두 갖춘 모든 교정 장치는 완전히 추적 가능한 테스트 데이터와 함께 계측 기관에서 발행한 유효한 인증서를 보유하고 있습니다. 완성된 모든 화강암 공기-부유 플랫폼은 평탄도, 직진도 및 평행도에 대한 포괄적인 검사를 거칩니다. 또한 우리는 장기간 사용 시 정밀 성능을 평가하기 위해 일정한 온도 조건에서 장기 안정성 노화 테스트를-지원합니다.
ISO 9001, ISO 14001, ISO 45001 및 CE 인증은 물론 EU, 미국 및 동남아시아에 등록된 20개 이상의 국제 상표 및 특허를 바탕으로 당사는 -광학 연구 기관, 반도체 기업 및 해외 일류 대학과 장기적인 기술 협력을 유지하고 있습니다. 당사의 맞춤형 화강암 공기-부유 플랫폼은 자동 검사 장비, 웨이퍼 처리 시스템 및 레이저 교정 장치 제조업체에 널리 공급되며 유럽, 미국 및 동남아시아로 수출됩니다. 우리는 고객 3D 도면에 따른 내장 스레드 슬리브, 홈 가공, 드릴링 및 일체형 초정밀 마감 처리를 포함하여 통합 에어-플로팅 테이블, 모션 베이스 및 갠트리 빔을 위한 비표준 맞춤형 솔루션을 제공합니다.-