현대 정밀 검사 시스템에서 센서와 프로브에 의해 수집된 모든 데이터는 안정적이고 신뢰할 수 있는 기하학적 원점에 의존합니다. 많은 장비 개발자는 프로브 정확도를 최적화하고 센서 샘플링 빈도를 높이는 데 중점을 두지만 기준 캐리어에서 발생하는 오류를 간과하는 경향이 있습니다. 최고-등급 프로브라도 기준 표면이 약간 변형되면 측정된 모든 데이터에서 체계적인 편차가 발생합니다. 고-평탄도 화강암 검사 베이스는 이러한 기본 지원 역할을 수행하고 다양한 센서 및 프로브를 위한 안정적이고 신뢰할 수 있는 기준 캐리어를 지속적으로 구축합니다. UNPARALLELED 그룹은 초정밀 부품의 R&D 및 제조를 기반으로 광학, 반도체 및 계측 검사 장비용 센서 및 프로브의 작동 조건에 적합한 화강암 기준 베이스를 계속 개발하고 있습니다.
센서와 프로브의 측정 로직은 기본적으로 비교 측정입니다. 프로브에 의해 캡처된 치수, 윤곽 및 위치 데이터는 모두 베이스 플레이트 표면을 기준 원점으로 사용합니다. 금속 플랫폼은 온도 변화에 따라 팽창 및 수축하는 경향이 있지만 일반 석재의 내부 응력은 지속적으로 방출되어 플레이트 표면의 변동이 느리고 프로브의 드리프트가 0이 됩니다. 이러한 드리프트는 즉시 나타나지 않고 온도 변화와 진동으로 인해 누적되어 센서의 반복 위치 결정 정확도를 악화시키고 여러 테스트에서 동일한 측정물에 대해 일관되지 않은 측정 결과를 초래합니다. 조밀한 결정 구조와 탁월한 열 안정성을 갖춘 UNPARALLELED® 검정색 화강암은 온도 변동으로 인한 판 뒤틀림을 최대한 억제하고 기준 표면의 장기적으로 안정적인 기하학적 형태를 유지하여- 모든 센서 및 프로브 컬렉션이 일관되고 변경되지 않은 기준 위에 구축되도록 보장합니다.
다양한 유형의 프로브와 센서에는 기준면의 미세한 상태에 대한 요구 사항이 다릅니다.- 접촉식 프로브에는 평평하고 내마모성-내스크래치성-저항성이 있는 플레이트 표면이 필요합니다. 레이저 센서와 광학 이미징 센서는 국부 반사 및 표면 결함으로 인한 광학 이미징 간섭을 방지하기 위해 기준 표면의 균일하고 안정적인 미세{4}}형태를 요구합니다. 일반 가공 플레이트의 공정 라인과 기공 결함은 광학 센서 이미징을 방해하고 접촉식 측정 헤드용 프로브의 비정상적인 마모를 유발할 수도 있습니다. UNPARALLELED Group은 그래디언트 초정밀 연삭 공정을 채택하여 화강암 판 표면의 미세 성형 및 기공 밀봉 처리를 수행합니다. 높은 평탄도 표시기를 달성하는 동시에 플레이트 표면의 미세 질감을 최적화하고 접촉 프로브와 비{9}}비접촉 광학 센서 모두의 애플리케이션 요구를 충족하며 기준 표면의 미세 결함으로 인해 발생하는 측정 노이즈를 방지합니다.
동적 검사 작업 조건에서는 진동 간섭이 프로브와 센서에 직접 전달되어 측정 오류가 증폭됩니다. AOI 육안 검사, XY 선형 모터 플랫폼 및 레이저 윤곽 스캐닝과 같은 시나리오에서 프로브는 고속으로 작동합니다. 진동으로 인해 베이스가 약간 흔들리면 센서 신호에 혼란이 나타납니다. 높은 평탄도는 단순히 정적 지표가 아닙니다. 베이스의 전체적인 강성과 진동 차단 능력도 똑같이 중요합니다. UNPARALLELED Group은 베이스의 구조 설계 단계에서 전체 장비 하중과 결합된 기계적 시뮬레이션을 수행하고, 베이스 리브의 레이아웃과 벽 두께를 최적화하여 전체 강성을 향상시키며, 외부 진동 전달을 약화시키기 위한 합리적인 지지 방식과 협력합니다. 이는 기준 플레이트 표면으로 전달되는 진동을 줄이고 프로브 스캐닝 및 센서 샘플링 중에 기준 안정성을 보장하여 동적 측정의 무작위 오류를 낮춥니다.
계측 추적성의 일관성은 센서와 프로브에 사용되는 기준 표면의 핵심 가치를 나타냅니다. 장비 공장 교정과 정기적인-현장 검증 모두 베이스 플레이트 표면을 기반으로 한 프로브 교정이 필요합니다. 참조 표면의 평탄도에 지역적 편차가 있는 경우 서로 다른 위치에서 교정된 프로브 매개변수가 일관되지 않으며 교차-영역 공작물 검사 중에 편차가 발생합니다. 완제품 검사 단계에서 UNPARALLELED Group은 레이저 간섭계와 고정밀 전자 레벨을 사용하여-플레이트 표면에 대한 전체-그리드 샘플링 및 매핑을 수행하고 전체{7}}면 윤곽을 완벽하게 기록하여 전체 플레이트가 균일하게 높은 평탄도 표준에 도달하도록 보장합니다. 모든 측정 도구는 국가 계측 기관까지 추적할 수 있어 기준 자체의 추적성을 보장하고 센서 및 프로브의 교정 결과를 신뢰할 수 있고 반복 가능하게 만듭니다.
반도체 검사 및 PCB 정밀 검사부터 신에너지 리튬 배터리 검사 시나리오에 이르기까지 센서와 프로브는 더 높은 해상도와 더 빠른 샘플링 속도로 계속 업그레이드되어 기준 캐리어에 대한 요구 사항이 지속적으로 높아지고 있습니다. 프로브 정확도가 정확할수록 기준으로 인해 발생하는 오류의 가중치가 높아집니다. UNPARALLELED 그룹은 계측 기관 및 고급 장비 기업과의 다년간의 협력 경험을 바탕으로 화강암 모재 선택, 성형 및 검사의 전체 시스템을 지속적으로 최적화합니다. 다양한 고정밀 센서와 프로브를 운반하기 위한 기본 기하학적 기준으로 안정적인 고{4}}평탄도 플레이트 표면을 사용하고 글로벌 초정밀 검사 장비를 위한 견고한 측정 기반을 구축합니다.-