반도체 검사에서 자기에 민감한 부품 테스트 및 정밀 광학 조립, 잔류 자기장, 영구 자석 또는 전자기 코일은 자기 간섭을 생성합니다. 주철 베이스와 같은 기존 금속 기준 구조는 쉽게 자화되어 국지적 자기장 분포를 왜곡하고 센서 판독값에 편차가 발생합니다. 화강암 표면판은 기준 기판으로 널리 채택됩니다. 그럼에도 불구하고 표준 화강암과 비자성 화강암의 성능은 다릅니다. 부적절한 선택과 적용으로 인해 여전히 자기 교란이 발생할 수 있습니다. UNPARALLELED 그룹의 현장 프로젝트에 따르면 화강암 판의 모든 이점은 재료 특성보다는 적절한 재료 선택, 구조 설계, 현장 제어 및 정밀한 보호에 달려 있습니다.
비자성 화강암과 표준 화강암을 구별합니다. 천연 화강암은 혼합 광물 입자로 구성됩니다. 일반 화강암에는 미량의 강자성 함유물이 포함되어 있습니다. 전체적으로는 자화가 불가능하지만 이러한 불순물은 상대적으로 강한 자기장에서 약하게 자화될 수 있으며 자기 센서 및 웨이퍼 검사 응용 분야에 숨겨진 편차를 일으킬 수 있습니다. 비자성 화강암은 강자성 함량이 낮은 세심하게 선별된 원시 블랭크를 사용합니다. 비자성 내장 인서트와 결합하여 자기에 매우 민감한 조건의 요구 사항을 충족합니다. 표준 화강암은 가시적인 자기 인력이 없더라도 고감도 자기 시나리오에는 적합하지 않습니다.
일치하는 금속 하드웨어는 자주 간과되는 요소입니다. 많은 프로젝트에서는 내장된 인서트, 볼트 및 위치 핀을 무시하고 화강암 본체에만 중점을 둡니다. 일반 강철 패스너는 비자성 화강암과 결합된 경우에도 자기장 하에서 새로운 간섭원이 됩니다. UNPARALLELED 그룹의 실제 경험에 따르면 완전한 저자기 시스템에는 비자성 인서트, 볼트 및 핀과 함께 비자성 화강암 기판이 필요합니다. 기존의 금속 부품을 유지하면서 석재만 교체하면 자기 교란을 해결할 수 없습니다. 레이아웃 설계는 자화 위험을 줄이기 위해 화강암 데이텀을 자성 소스로부터 멀리 유지해야 합니다.
낮은 자기 성능 외에도 화강암은 높은 강성, 낮은 열팽창 및 탁월한 감쇠를 유지합니다. 자기 코일은 작동 중에 열을 발생시키고 국지적인 온도 변동을 일으킵니다. 낮은 열팽창 화강암은 기준 표면의 열 변형을 최소화합니다. 전자기력은 미세 진동을 유발할 수 있으며, 이는 화강암의 우수한 감쇠 성능으로 인해 빠르게 소멸됩니다. 진동 및 자기 노이즈로 인한 복합 오류를 방지하고 검사 및 조립의 반복성을 향상시킵니다. 이러한 결합된 장점으로 인해 화강암은 다른 많은 비금속 기준 재료보다 우수합니다.
현장 유지 관리는 자기장 조건에서 실제 성능을 결정합니다. 철분은 자기력에 의해 화강암판에 흡착되어 축적됩니다. 강자성 잔해는 국지적인 자기장을 왜곡하고 동시에 정밀하게 겹쳐진 표면을 긁습니다. 2차 오염을 방지하려면 비자성 도구를 정기적으로 청소해야 합니다. 철제 고정물은 잔해물을 제거하기 위해 멀리 보관해야 합니다.
비자성 화강암의 성능 한계를 이해합니다. 절대 영도 자기 대신 낮은 잔류 자기성을 달성하여 대부분의 정밀 자기 민감 장비에 적합합니다. 초저자기 실험실 환경의 경우 외부 자기 차폐가 여전히 필요합니다. Granite는 기준 자체에서 발생하는 자기 간섭을 제거하지만 외부 자기장 침투를 차단할 수는 없습니다. 외부 자기 강도가 설계 한계를 초과하는 경우 추가 차폐 구조가 필요합니다.
자기장 관련 프로젝트의 경우 UNPARALLELED 그룹은 전체 영역 자기 스캐닝 테스트 기록을 제공합니다. 비자성 인서트와 패스너는 설치 중에 지정된 토크로 조여집니다. 향후 유지 관리 시 교체 부품은 동등한 비자성 구성 요소를 채택해야 합니다. 일반 표준 패스너는 임의로 대체할 수 없습니다.
요약하면, 자기장 조건에서 화강암 정반을 최대한 활용하려면 화강암 석판을 선택하는 것 이상의 작업이 필요합니다. 사용자는 자기 민감도 수준에 따라 적합한 등급을 선택하고, 비자성 하드웨어 전체 세트를 채택하고, 레이아웃을 최적화하고, 강자성 먼지를 제어하고, 필요한 경우 외부 차폐를 적용해야 합니다. 재료, 하드웨어 및 현장 작업의 조정된 관리를 통해 화강암 플레이트는 자기에 민감한 정밀 장비에 자기 노이즈를 발생시키지 않고 고정밀 데이텀 성능을 제공할 수 있습니다.