자동화된 비전 검사에서는 모든 마이크로미터가 중요합니다. 웨이퍼 결함 맵, PCB 추적 형상 또는 유리 기판 모서리 품질을 검사하는 경우 고속-카메라 센서는 빠른 시작-동작 주기 동안 절대적인 기하학적 안정성이 필요합니다. 카메라 해상도와 조명 알고리즘이 초기 엔지니어링 논의를 지배하는 경우가 많지만 이러한 광학 장치 아래의 물리적 기반은 시스템의 장기적인-반복성을 결정합니다.
자동 광학 검사(AOI) 및 자동 비전 플랫폼의 경우,화강암 유적주철 또는 용접 강철 프레임보다 선택한 재료입니다. 그러나 맞춤형 화강암 기계 베이스를 지정하려면 평평한 석재 블록을 주문하는 것 이상의 작업이 필요합니다. 최적의 측정 성능을 얻으려면 재료 선택, 구조적 기하학적 구조, 동적 감쇠 및 인서트 기계적 고정의 균형이 필요합니다.
일반 석재 등급을 넘어서는 재료 선택
모든 검은색 화강암이 서브{0}}미크론 검사 플랫폼에 필요한 물리적 특성을 갖고 있는 것은 아닙니다. 표준 상용-등급 석재에는 미묘한 미세 공극, 일관되지 않은 광물 분포 또는 장기적인 치수 안정성을 손상시키는 낮은 밀도 수준이-포함되어 있는 경우가 많습니다.
정밀 검사 플랫폼의 경우 재료 밀도는 이상적으로 3000kg/m³를 초과해야 합니다. 고밀도-검은색 화강암은 대리석이나 낮은 등급의 화강암에 비해 매우 낮은 열팽창계수(약 5 × 10⁻⁶ / K)와 무시할 만한 흡습성을 나타냅니다.- 이는 주변 습도 및 열 구배로 인해 큰 참조 표면에서 평면 뒤틀림이 발생하는 것을 방지합니다.
기계 기초용 화강암을 소싱할 때 정밀 래핑을 시작하기 전에 물리적 테스트 인증서-특히 용적 밀도, 압축 강도 및 탄성 계수-를 평가하는 것이 필수적입니다.
동적 감쇠 및 구조적 강성 관리
처리량이 높은{0}}비전 시스템은 빠른 선형 모터 가속을 사용하여 갠트리 지지점에서 높은 반력을 생성합니다. 적절한 진동 감쇠가 없으면 잔류 정착 시간으로 인해 이미지 획득이 연장되고 시간당 단위 출력이 감소합니다.
화강암은 본질적으로 구조용 강철보다 최대 15배 빠르게 기계적 진동을 감쇠시킵니다. 이러한 자연적 이점을 극대화하려면 기계 설계자는 세 가지 구조적 요소에 집중해야 합니다.
질량 분포: 기초 모서리 근처에 구조적 무게를 배치하면 무게 중심이 낮아지고 다축 운동 중에 흔들리는 모멘트가 최소화됩니다.-
리빙 및 포켓팅: 베이스 아래쪽에 경량 포켓을 가공하면 수직 강성을 유지하면서 총 질량이 줄어들어 배송 또는 설치 중에 기계 위치를 더 빠르게 조정할 수 있습니다.
운동학적 마운팅: 전용 3점 운동학적 마운트에서 대형 화강암 베이스를 지원하므로 공장 바닥이 고르지 않아 발생하는 구조적 비틀림으로부터 기본 기준면이 분리됩니다.
기계적 인서트 및 나사 고정 무결성
선형 가이드 레일, 인코더 및 갠트리 기둥을 석재 베이스에 부착하려면 내장형 나사 인서트가 필요합니다. 화강암은 하중을 지탱하는 패스너용으로 직접 태핑할 수 없기 때문에 인서트 디자인은 잘못 실행될 경우 기계적 고장의 주요 지점을 나타냅니다.
표준 헬리코일 또는 단순{0}}압입식 인서트는-고하중-동적-부하 응용 분야에 적합하지 않습니다. 대신, 맞춤형 베이스는 외부 고정 홈이 있는 화분 강철 또는 스테인리스강 인서트를 사용합니다. 이러한 인서트는 열팽창 계수가 일치하는 고급-등급 에폭시 수지를 사용하여 정밀-코어 구멍에 설정됩니다.
초기 볼트 토크 절차 중에 석재에 미세한 균열이 발생하는 것을 방지하려면 관통-구멍과 데이텀 가장자리로부터의 적절한 가장자리 거리를 유지해야 합니다.-일반적으로 인서트 직경의 최소 두 배-입니다.
평탄도를 유지하면서 복잡한 형상 가공
최신 AOI 기계 아키텍처에는 복잡한 다층 계단 구조, 내부 케이블 라우팅 통로 및 측면 장착 참조 표면이 필요한 경우가 많습니다.{0}} 이러한 기능을 가공하면 국부적인 재료가 제거되어 석재 내부의 내부 잔류 응력이 재분배될 수 있습니다.
최종 데이텀 평면 평탄도를 유지하려면 다음을 수행하십시오.
황삭 가공 및 응력 완화: 초기 정밀 연삭 전에 톱질, 코어 드릴링 및 포켓의 1차 밀링을 완료해야 합니다.
제어된 노화: 거친 황삭 후 석재를 그대로 두어 래핑 전에 내부 응력이 안정되도록 합니다.
다중-평면 래핑: 선형 레일의 중요한 장착 패드는 온도가 제어되는 환경(20 ± 0.5도)에서 손으로-랩핑하거나 정밀-연마해야{3}}합니다.
UNPARALLELED 그룹에서는 대형-화강암 부품을 황삭 가공한 후 기후가 제어되는 환경에서 안정화 기간을 연장한 후-최종 핸드 래핑 작업을 통해 긴 층 기계 기초의 표면 평탄도 공차를 -미크론 미만 수준까지 달성합니다.-
환경 및 클린룸 고려사항
반도체 및 디스플레이 제조의 비전 검사 도구는 ISO 클래스 5 또는 클래스 4 클린룸 환경에서 자주 작동합니다. 표준 석재 표면은 처리되지 않은 채로 방치되거나 제작 중에 부적절한 냉각수 유체를 사용하는 경우 미세한 입자를 방출할 수 있습니다.
클린룸 호환성을 보장하려면 노출된 비{0}기능성 화강암 표면을 재료의 열 반응을 변경하지 않고 가스 방출 및 입자 생성을 방지하는 특수 에폭시 코팅 또는 미세{1}}다공성 밀봉재로 밀봉해야 합니다. 또한, 내부 에어 베어링 가이드 표면은 겹쳐진 화강암 트랙의 조기 마모를 방지하기 위해 조립 중에 오일이 없고 먼지가 없는- 환경이 필요합니다.