1. 고속 역학을 위한 높은 강성-대-중량 비율-
리소그래피와 본딩에서 부품은 지연 없이 고속으로 움직여야 합니다. 고급 세라믹은 강철보다 훨씬 가볍지만 극도의 강성(높은 영률)을 제공합니다. 이는 관성을 줄여 웨이퍼 핸들링 시스템의 위치 정확도를 저하시키지 않으면서 더 빠른 가속 및 감속을 가능하게 합니다.
2. 비교할 수 없는 열전도율과 안정성
반도체 공정에서는 국부적인 열이 발생합니다. 실리콘 카바이드와 같은 소재는 뛰어난 열 전도성을 제공하여 열을 빠르게 방출하여 국부적인 변형을 방지합니다. 이를 통해 세라믹 진공 척과 웨이퍼 스테이지가 완벽하게 평평한 상태로 유지되어 중요한 UV 노출 단계에서 초점면이 유지됩니다.
3. 내마모성과 화학적 관성
세라믹은 다이아몬드만큼 단단합니다. 이러한 내마모성은 움직이는 부품이 입자를 생성하지 않고 믿을 수 없을 만큼 긴 서비스 수명을 보장합니다. 또한 화학적 관성으로 인해 프런트엔드 반도체 공정에 사용되는 가혹한 에칭 가스 및 세정제와 호환됩니다.-
세라믹 재료 비교
| 재산 | 알루미나(Al2O3) | 실리콘 카바이드(SiC) |
| 비커스 경도 | 1500HV | 2500+ HV |
| 탄성률 | 350GPa | 450GPa |
| 열 조건 | 30 W/m·K | 150+ W/m·K |
FAQ: 주요 질문에 대한 답변
알루미나 대신 SiC를 사용하는 이유는 무엇입니까? SiC는 가격이 더 높지만 강성이 더 높고 열 전도성이 더 좋습니다.
세라믹 부품은 깨지기 쉬운가요? 부서지기 쉽지만 압축 강도가 커서 정밀 하중에 이상적입니다.
어떤 산업에서 이러한 세라믹을 사용합니까? 주로 반도체, 항공우주, 레이저 절단 산업.
맞춤형 세라믹 형태를 생산할 수 있습니까? 예, 우리는 복잡한 기계 부품에 대한 맞춤형 OEM 세라믹 가공을 제공합니다.
최대 크기는 얼마입니까? 분할 접합을 통해 최대 1000mm 이상의 대규모 세라믹 구조 부품을 생산할 수 있습니다.-
도자기에는 특별한 세척이 필요합니까? 화학물질에 대한 내성이 매우 강하여 클린룸 사용 시 청소가 매우 쉽습니다.