좌표 측정 기계, AOI 검사 시스템 또는 반도체 웨이퍼 스테이지를 열면 눈에 보이는 작업을 수행하는 정교한 광학 장치, 인코더 및 모션 제어 시스템을 찾을 수 있습니다. 그 아래에는 똑같이 중요한 보이지 않는 작업을 조용히 수행하는 것이 일반적으로 화강암 기반입니다.
베이스는 단순한 플랫폼이 아닙니다. - 측정 시스템의 일부입니다.
기계의 베이스를 테이블 다리와 유사한 단순한 구조적 지지대라고 생각하기 쉽습니다. 정밀 장비에서는 정확하지 않습니다. 베이스는 다음에 직접적인 영향을 미칩니다.
진동 감쇠 - 교란(건물, 기계 자체 모터, 근처 유동인구로 인한)이 측정 또는 프로세스 영역으로 전달되지 않고 소멸되는 속도입니다.
열 안정성 - 온도 변화에 따라 장착 표면이 형상을 얼마나 일관되게 유지하는지입니다.
장기-치수 안정성- 기계가 보정을 위해 의존하는 기준면이 수년 동안 작동해도 그대로 유지됩니다.
화강암은 자연적인 진동 감쇠 특성, 낮고 예측 가능한 열팽창, 지속 하중 하에서의 크리프 저항성-으로 인해 세 가지 측면 모두에서 우수한 성능을 발휘합니다. 이러한 특성은 내부 응력을 발생시키고 시간이 지남에 따라 점진적으로 휘어질 수 있는 용접 강철 구조와 일치하기 어렵습니다.
정밀 장비에 화강암 베이스가 나타나는 곳
반도체 제조 및검사 장비. 웨이퍼 핸들링 단계, 리소그래피-인접 장비 및 검사 도구는 나노미터-수준의 위치 지정 반복성이 필요하고 베이스-로 인한 진동이 직접적으로 수율을 저하시키는 XY 테이블 및 선형 모터 플랫폼의 베이스로 화강암을 사용하는 경우가 많습니다.
좌표 측정기(CMM). CMM의 화강암 베이스는 프로브 위치를 측정하는 안정적인 기준 프레임 역할을 합니다. 이 베이스의 모든 굴곡이나 드리프트는 기계가 검사하는 모든 부품에 대한 측정 불확실성으로 직접 변환됩니다.
광학 및 레이저 측정 시스템. 2차원 이미지 측정 장비, 윤곽 측정 시스템, 펨토초/피코초 레이저 시스템과 같은 장비는-안정적인 광학 경로에 의존합니다. 즉, 광학 장치를 지지하는 베이스가 진동과 열 드리프트를 모두 견뎌야 한다는 의미입니다.
AOI(자동 광학 검사) 및 산업용 CT 시스템. 이러한 시스템은 -미크론 이하의 진동으로도 이미징 결과가 흐려지거나 잘못된 결함 판독이 발생할 수 있는 고배율로 검사합니다.
선형 모터 플랫폼 및 리드 스크류/가이드웨이 테스트 장비. Granite는 표면 불규칙성이 구성 요소 결함으로 오인될 수 있으므로 테스트 또는 교정 중인 선형 동작 구성 요소에 평평하고 안정적인 이동 표면을 제공합니다.
새로운 애플리케이션. 배터리 제조 검사 장비 및 페로브스카이트 코팅 기계-를 포함한 새로운 산업 -도 이러한 공정이 생산 중에 점점 더 엄격한 위치 공차를 요구하기 때문에 화강암 기반을 채택했습니다.
장비 제조업체가 강철이나 주철 대신 화강암을 선택하는 이유
강철 및 주철 베이스는 여전히 많은 범용 기계에 사용되고 있으며 - 비용 효율적이고-특정 장착 하드웨어와 쉽게 통합할 수 있습니다. 그러나 서브-미크론 반복성이 중요한 장비의 경우 세 가지 실질적인 문제로 인해 제조업체는 화강암을 선택하게 됩니다.
강철 베이스는 용접이나 주조로 인한 잔류 응력을 유지할 수 있으며, 이는 수개월 또는 수년에 걸쳐 서서히 완화되어 외부 하중 변화 없이도 형상을 미묘하게 이동시킵니다.
강철의 열팽창 계수는 화강암보다 눈에 띄게 높기 때문에 강철 베이스는 일반적인 공장 온도 변화에 더 민감합니다.
주철 및 용접 강철 구조물은 일반적으로 조밀한 자연석보다 진동을 덜 효율적으로 감쇠합니다. 즉, 민감한 부품에 더 많은 잔류 진동이 전달된다는 의미입니다.
장비 설계자를 위한 실용적인 참고 사항
새로운 장비의 화강암 기반을 지정할 때 공급업체와 명확하게 정의해야 하는 관련 변수는 다음과 같습니다.
요구되는 평탄도 및 평행도 등급
필요한 최대 단일{0}}크기(대형 플랫폼의 경우 대용량 연삭 및 취급 장비를 갖춘-공급업체로부터 조달해야 하는 경우도 있음)
장착 구멍 패턴 및 에어-베어링 또는 진공-척 통합 요구사항
완성된 장비가 작동할 환경 조건을 통해 열 동작을 적절하게 설명할 수 있습니다.
설계 단계에서 이러한 세부 사항을 올바르게 얻으면 나중에 비용이 많이 드는 재작업을 피할 수 있습니다. 왜냐하면 화강암 베이스는 일반적으로 최종 가공 및 교정 후에 수정하기 가장 어려운 구성 요소 중 하나이기 때문입니다.
FAQ
질문: 고정된 실험실 설치뿐만 아니라 이동 또는 현장 장비에도 화강암 베이스를 사용할 수 있습니까? 그렇습니다. 하지만 무게는 디자인상의 고려사항이 됩니다. Granite의 밀도는 안정성을 위한 자산이지만 휴대성을 위해서는 절충안이 됩니다. 따라서 현장 장비는 실제 규모의 플랫폼보다는 작고 세심하게 크기가 조정된 화강암 구성 요소를 사용하는 경우가 많습니다.{1}}
Q: 화강암 베이스는 배송 및 설치 중에 특별한 취급이 필요합니까? 예 - 화강암은 압축 강도에도 불구하고 운송 중 가장자리가 부서지거나 충격 부하에 취약할 수 있습니다. 평판이 좋은 공급업체는 일반적으로 정밀-등급 부품을 위한 맞춤형 크레이트 및 충격-표시기 포장을 사용합니다.
Q: 엔지니어는 설치 후 화강암 기반이 이동되지 않았는지 어떻게 확인합니까? 일반적인 방법은 베이스를 현장에 설치한 후 전자 수평계나 자동 시준기를 사용하여 평탄도와 레벨을 다시 확인하는 것입니다.-설치 표면과 장착 조건이 원래 교정이 수행된 환경과 다를 수 있기 때문입니다.