반도체 검사 플랫폼에는 고해상도 이미징 및 결함 감지를 지원하기 위해 극도로 안정적인 기반이 필요합니다. 초정밀 부품 공급업체인 UNPARALLELED는 반도체 검사 장비를 위한 맞춤형 화강암 구조를 제공합니다. Granite는 웨이퍼 및 패널 검사 워크스테이션에 여러 가지 주요 이점을 제공합니다.
첫째, 화강암은 열팽창 계수가 매우 낮습니다. 반도체 작업장은 연속 생산 중에 약간의 온도 변동이 있습니다. 화강암 베이스는 열로 인한 변형을 최소화하여 렌즈와 센서의 위치 변동을 방지합니다. 안정적인 기준선은 웨이퍼 결함 스캐닝에 대한 일관된 이미징 정확도를 보장합니다.
둘째, 우수한 진동 감쇠는 검사에 매우 중요합니다. 현장의 기계적 진동으로 인해 광학 이미지가 흐릿해집니다. 화강암은 진동을 빠르게 흡수합니다. 정밀 조정 브래킷 및 계측 게이지와 함께 사용하면 장기 AOI 검사에서 선명하고 반복 가능한 이미지 획득을 유지합니다.
셋째, 천연 화강암은 장기간의 자연 노화 후에도 무시할 수 있는 내부 잔류 응력을 갖습니다. 화강암 슬라이드 테이블, T 슬롯 플레이트 및 지지 프레임은 수년 동안 평탄도와 직진도를 유지합니다. 저속 정밀 크리프가 크게 감소하여 반도체 생산 라인의 연중무휴 운영 요구 사항을 충족합니다.
게다가 화강암은 작업장의 습기와 화학 증기에 대해 부식 방지 기능이 있습니다. 금속 주물처럼 녹이 슬지 않아 일상적인 유지 관리 작업이 줄어듭니다. CNC 사전 가공된 구멍, 홈 및 장착 인터페이스는 센서 및 광학 어셈블리에 완벽하게 맞습니다. 2차 현장 가공은 거의 필요하지 않습니다.
당사의 모든 화강암 부품은 ISO 및 CE 표준을 준수합니다. 검사 도구는 계측 표준에 따라 추적 가능합니다. 당사의 화강암 구조물은 패널 및 웨이퍼 검사 분야에서 세계적으로 유명한 기업에 서비스를 제공합니다.
간단히 말해서, 낮은 열 변형, 탁월한 진동 흡수, 장기적인 치수 안정성 및 내식성은 화강암을 반도체 검사 플랫폼에 이상적인 기판으로 만듭니다. UNPARALLELED는 고객 도면을 기반으로 원스톱 맞춤형 화강암 솔루션을 제공합니다.