진동 및 열 드리프트 방지: 반도체 조립을 위한 최고의 계측 환경 엔지니어링

Jun 23, 2026 메시지를 남겨주세요

초정밀 제조에는 -우리 경영진이 제시한 기본 원칙이 있습니다. "측정할 수 없으면 생산할 수도 없습니다."

그러나 외부에서 지나가는 트럭으로 인해 발 밑의 바닥이 진동하거나 실내 온도가 섭씨 0.5도 정도 변동하는 경우에는 부품을 미크론 이하의 정확도로 측정하는 것이 불가능합니다. 열팽창과 주변 운동 에너지는 고급 기계 공학의 보이지 않는 적입니다.- 반도체 및 광학 검사(AOI) 어셈블리의 추적 가능한 정확성을 보장하기 위해 이러한 변수를 제어하는 ​​방법은 다음과 같습니다.

열팽창 및 미세{0}}진동의 위험

2-미터 화강암 빔을 생각해 보세요. 단 1도의 온도 변화로 인해 재료가 수 마이크로미터만큼 팽창하거나 수축할 수 있습니다. 마찬가지로, 낮은-주파수 바닥 진동-종종 사람이 감지할 수 없는-레이저 간섭계가 지터를 발생시켜 나노미터 수준의 보정이 무효화됩니다. 반도체 리소그래피용 또는페로브스카이트 코팅 장비, 이러한 환경 간섭은 치명적인 수율 저하를 초래합니다.

비교할 수 없는 통제 환경 내부

이러한 변수를 제거하기 위해 UNPARALLELED는 고급 반도체 공장의 정확한 작동 조건을 시뮬레이션하도록 설계된 특수 10,000제곱미터{2}}미터의 항온항습 클린룸을 설계했습니다.

+-------------------------------------------------------------+ | Constant Temperature & Humidity Cleanroom (10,000 m²) | | | | [Silent Overhead Cranes] --> Zero Acoustic Vibration | | | | +-----------------------------------------------------+ | | | Ultra-Hard Concrete Sub-Floor (Thickness >= 1000mm)||| +-----------------------------------------------------+|+-------------------------------------------------------------+|| [충격-감쇠 트렌치] [충격-감쇠 트렌치] (폭: 500mm|깊이: 2000mm) (폭: 500mm|깊이: 2000mm)

semiconductor metrology

시설 아키텍처의 특징은 다음과 같습니다.

대규모 기초: 시설 바닥은 두께가 1000mm 이상인 군용{0}}등급 초-단단 콘크리트로 주조되었습니다. 이 조밀한 슬래브는 거대한 관성 댐퍼 역할을 합니다.

주변 격리 트렌치: 클린룸 주변에는 폭 500mm, 깊이 2000mm의 전용 충격 완화 트렌치가 있습니다.{0}} 이러한 물리적인 공기-와-물질의 격차는 주변 산업 지역의 주변 지면 진동을 차단합니다.

음향 완화: 표준 오버헤드 공장 크레인은 심각한 기어 소음과 저주파의 윙윙거리는 소리를-발생시킵니다. 당사의 클린룸은 특수한 저소음 오버헤드 크레인을 활용하여 공기 중 음파가 섬세한 측정 설정을 방해하지 않도록 보장합니다.

국가 표준에 대한 추적성

이 격리된 범위 내에서{0}독일 마하르 표시기(0.5μm), Mitutoyo 디지털 캘리퍼, 인덕턴스 마이크로미터 및 Renishaw 레이저를 포함한-캘리브레이션 장비가 최고 성능으로 작동합니다.

우리 내부에서 발행된 모든 교정 인증서는 지난 계측 연구소와 산둥 계측 연구소의 교정 데이터를 담고 있으며 국립 계측 연구소까지 추적 가능합니다. UNPARALLELED에서 화강암 베이스나 어셈블리를 소싱하면 단순히 석재를 구매하는 것이 아닙니다. 당신은 검증되고 환경적으로 고립된 확실성을 구매하고 있습니다.