반도체 제조에서는 마이크로 및 나노 규모의 위치 정확도가 요구됩니다. 작은 변형, 진동 또는 벤치마크 변화로 인해 웨이퍼 패턴이 왜곡되고 수율이 감소합니다. UNPARALLELED 그룹의 나노-등급 화강암 구성 요소는 정밀 동작 및 광학 시스템을 안정화하기 위한 반도체 장비의 기본 벤치마크 캐리어 역할을 합니다.
첫째, 기하학적 기준 베어링입니다. 리니어 모터, 에어{1}}베어링 스테이지, 광학 감지기 및 격자 스케일은 비교할 수 없는 화강암 구조물에 장착됩니다. 정밀 연삭 화강암은 신뢰할 수 있는 기하학적 참조를 생성하여 웨이퍼 스캐닝 및 위치 지정을 위한 안정적인 평행성과 직각성을 유지합니다.
둘째, 진동 억제. 펌프와 주변 장비는 클린룸에서 미세{1}}진동을 발생시킵니다. 비교할 수 없는 화강암은 진동을 빠르게 흡수하는 우수한 감쇠 기능을 갖추고 있어 웨이퍼와 광학 렌즈의 교란을 방지합니다.
셋째, 열변형 제어이다. 열팽창이 낮기 때문에 화강암은 약간의 온도 변화에도 치수가 거의 변하지 않으므로 장시간 연속 작동 중에 위치 드리프트가 방지됩니다.
넷째, 견고한 구조적 지지입니다. 대형-이동 검사 시스템의 경우 비교할 수 없는 화강암 베이스와 프레임이 무거운 광학 어셈블리를 운반합니다. 높은 강성은 자중으로 인한 휘어짐을 최소화하고 무대 이동 중에 안정적인 자세를 유지합니다.
크리프가 없고 가공 후 응력 완화 처리를 통해 비교할 수 없는 화강암은 연중무휴 연속 생산에서도 일관된 정밀도를 유지합니다. 즉, 비교할 수 없는 나노-등급 화강암 부품은 반도체 장비의 안정적인 뼈대 역할을 하여 나노 포지셔닝 및 광학 계측을 가능하게 합니다.
