많은 장비 설계자들은 화강암 시스템을 단순히 화강암 판으로 단순화합니다. 그러나 초정밀 장비 응용 분야에서는 단일 참조 플레이트가 전체 기계의 작동을 지원할 수 없습니다. 성숙한 화강암 기계 시스템은 여러 개의 조정된 화강암 구성요소로 구축된 참조 어셈블리입니다. 각 부품은 자체 기능을 수행하여 나노-레벨 모션 및 측정 정확도를 공동으로 유지합니다.
핵심 구성 요소의 첫 번째 범주는 전체 시스템의 하중을 지지하는 뼈대 역할을 하는 메인 베이스와 머신 베드입니다.{0}} 이는 뛰어난 강성과 장기적인-치수 안정성을 요구하는 선형 모터, 에어 베어링 가이드, 드라이브 모듈 및 광학 어셈블리를 운반합니다. 일반 측정 도구와 달리 머신 베드는 지속적인 동적 하중을 견디며 재료의 소형화 및 응력 완화에 대한 엄격한 요구 사항을 가지고 있습니다. 이는 전체 시스템의 기초입니다.
두 번째 범주에는 화강암 가이드 베이스, 에어 베어링 베이스 및 XY 스테이지 기판을 포함한 모션 가이드 구성 요소가 포함됩니다. 에어베어링 가이드용 공기막은 화강암 표면에 직접 형성됩니다. 베이스 표면의 평탄도와 직진도는 플랫폼 이동의 부드러움을 결정합니다. 이러한 구성요소는 머신 베드와 통합되거나 별도로 조립되어 선형 모터 및 에어 베어링 슬라이더에 대한 고정밀 모션 참조를 제공합니다.-
세 번째 범주는 직선 모서리, 정사각형 눈금자, V-블록 및 정사각형 게이지와 같은 화강암 측정 도구 및 참조 교정 구성 요소를 나타냅니다. 이는 장비의 동적 전력 부하를 견디지 않으며 주로 전체-기계 조립, 정밀 교정, 공장 검사 및 일상 검증에 사용됩니다. 장비를 조립하는 동안 기술자는 이러한 참조 부품을 사용하여 직각도와 평행도를 확인하고 설계 사양 내에서 전체 시스템의 기하학적 정확성을 고정합니다.
네 번째 범주는 화강암 지지 블록, 레벨링 시트 및 진동 차단 마운트와 같은 지지 및 위치 지정 액세서리로 구성됩니다. 프로젝트에서 많은 정밀 실패는 머신 베드 자체에서 비롯되는 것이 아니라 불합리한 지지점에서 비롯됩니다. 화강암은 하중 분산을 지원하고 레벨링 구조와 협력하여 설치 자세를 조정하고 작은 지면 진동을 격리하여 메인 베드의 국부적인 응력 변형을 방지합니다.
다섯 번째 범주는 화강암 갠트리, 기둥 및 대들보를 포함한 맞춤형 조립 구성 요소입니다. 갠트리 광학 검사, 레이저 가공 및 CMM 장비의 경우 화강암 갠트리와 크로스빔이 상부 모션 프레임을 형성합니다. 이러한 긴-스팬 구성요소는 자중으로 인한 편향에 대한 엄격한 제어가-필요합니다. 장기간 작동 후 프레임 오프셋을 방지하려면 재료의 크리프와 열팽창이 낮아야 합니다.-
UNPARALLELED의 프로젝트 실행에서 완전한 화강암 시스템은 개별 부품의 단순한 조립 그 이상입니다. 각 구성 요소는 통일된 계측 표준에 따라 처리되며, 상호 기하 공차를 미리 확인하기 위해 온도가 일정한-먼지 없는 작업장에서 사전 조립-됩니다. 부품 간의 일치 정확도는 단일 부품의 가공 정확도만큼 중요합니다. 고정밀-독립형 화강암 플레이트라도 자격을 갖추지 못한 갠트리나 지지대와 결합하면 전체 정확도가 급격히 저하됩니다.
구성 요소 조합은 애플리케이션 시나리오에 따라 다릅니다. 반도체 XY 스테이지는 머신 베드와 에어 베어링 베이스를 우선시합니다. 갠트리 레이저 장비는 화강암 갠트리와 대들보에 크게 의존합니다. 계측 장비에는 교정을 위한 화강암 기준 게이지 전체 세트가 필요합니다.
결론
완전한 화강암 기계 시스템은 기계 베드 베이스, 모션 가이드 기판, 기준 게이지, 레벨링 지지대 및 갠트리 프레임 부품으로 구성됩니다. 서로를 제한하고 지원하는 이러한 구성 요소는 통합된 기하학적 참조 시스템을 형성합니다. UNPARALLELED는 전체 화강암 부품을 위한 올인원 솔루션을-제공하여 모든 부품에 걸쳐 동일한 원자재와 일관적인 정밀도 표준을 보장하고 초정밀 장비를 위한 통합된 안정적인 참조를 제공합니다-.